令和7年電気学会全国大会が３月１８日（火）～２０日（木）に明治大学・中野キャンパスにて開催されます。平井研究室からは、部門主催シンポジウム「時空間同期技術：通信とマイクロデバイスの連携」において、清瀬君が小型現時計への搭載を目的としたMEMSガスセルのウェハレベル製造技術の研究成果を発表します。
- 全国大会HP：https://www.iee.jp/blog/taikai2025/
- プログラム：https://gakkai-web.net/iee/program/2025/data/html/sympo/sympo.html#SS20
- 発表概要
日時：3月18日 13:00〜17:00（会場：406）
著者：◎清瀬俊, 島田弥力, 堀靖志, 小田切雄介, 波多野智, 矢野雄一郎, 五箇繁善, 平井義和, 原基揚
タイトル：RbN3パターニング基板を用いたMEMSガスセルのウェハレベル製造技術