Last Update: May 22, 2024

国内学会

2024

  1. 平井義和
    ナノマイクロ加工技術を応用したボディ・オン・チップの創製
    日本機械学会関西支部第99期定時総会・講演会, 日本機械学会, 大阪, 2024年3月, 10901
  2. 犀川啓太, 四竈泰⼀, 亀井謙一郎, 田畑修, 平井義和
    蛍光ナノダイヤ粒子塊配列を用いた全光学的温度センサ
    量子生命科学会 第6回大会, 量子生命科学会, 東京, 2024年5月, P-53
  3. 浅越雄介, 清水啓史, 平井義和
    KcsAカリウムチャネルのpH応答運動解析を可能にした放射光X線1分子動態計測用流体デバイス
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第49回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 東京, 2024年6月, 3P34

2023

  1. 清水啓史, 高崎寛子, 平井義和, 安永卓生
    低温電子顕微鏡構造解析とX線1分子動態計測に基づくK+チャネルの新しいゲーティングモデル
    日本生理学会第100回記念大会, 日本生理学会, 京都, 2023年3月, 2P-087
  2. 舌雅也, 渡辺嵩都, 四竈泰一, 平井義和, 蓮尾昌裕
    ナノダイヤモンドNV中心を用いた全光学的温度計測に向けたゼロフォノン線の粒子依存性評価
    第70回応用物理学会春季学術講演会, 応用物理学会, 東京, 2023年3月, 15p-A405-8
  3. 浅越雄介, 清水啓史, 平井義和
    pH変化に対するKcsAイオンチャネルの運動応答を解析するためのX線1分子動態計測用流体デバイス
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第47回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 仙台, 2023年5月, 1P23
  4. ⾆雅也, 渡辺嵩都, 出原貴央, 四竈泰⼀, 平井義和, 蓮尾昌裕
    NV中⼼ゼロフォノン線ピーク波⻑によるナノダイヤモンド粒⼦選別マイクロ流体デバイスの開発
    第84回応用物理学会秋季学術講演会, 応用物理学会, 熊本, 2023年9月, 20p-A305-23
  5. 琴屋健太郎, 山内一慶, 清水啓史, 平井義和
    化学刺激によるイオンチャネル構造変化を解析する1分子動態計測技術
    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 熊本, 2022年11月, 6P2-M-6
    【最優秀講演論文表彰・受賞論文】

2022

  1. 舌雅也, 渡辺嵩都, 四竈泰一, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, 平井義和
    マイクロ流体デバイス内のNV中心の蛍光スペクトル測定
    第83回応用物理学会秋季学術講演会, 応用物理学会, 仙台, 2022年9月, 20a-C301-4
  2. 合田晴紀, 石田尚之, 古田幸三, 泉井一浩, Van Keulen Fred, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, 平井義和
    高精度な経上皮電気抵抗計測のためのトポロジー最適化による電極設計
    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 徳島, 2022年11月, 16A2-M-1

2021

  1. 宮崎貴史, 楊建東, 今村聡, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    組織チップにおける経上皮電気抵抗(TEER)計測の高精度化
    細胞アッセイ研究会, オンライン, 2021年1月, P17
  2. 霜降真希, 平井義和, 土屋智由
    MEMSを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップ
    第11回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 応用物理学会, オンライン, 2021年1月
  3. 清瀬俊, 平井義和, 田畑修, 土屋智由
    アルカリ金属生成用三次元構造を一括形成したMEMSガスセルの開発
    第68回応用物理学会春季学術講演会, 応用物理学会, オンライン, 2021年3月, 18p-Z24-9
  4. 霜降真希, 平井義和, 土屋智由
    カシミール-リフシッツ力が支配する単結晶シリコンナノギャップの最小空隙
    第68回応用物理学会春季学術講演会, 応用物理学会, オンライン, 2021年3月, 19a-Z08-1
  5. 水本昂宏, 平井義和, 土屋智由
    周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザバーコンピューティング
    第68回応用物理学会春季学術講演会, 応用物理学会, オンライン, 2021年3月, 19p-Z34-13
  6. 三浦大知, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由
    心臓拍動を模倣した圧力刺激印加による肝オルガノイド成熟化を目指すマイクロ流体デバイス
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第43回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, オンライン, 2021年5月, 1P-06
  7. 霜降真希, 吉村光葵, 文和彦, 平井義和, Banerjee Amit, 土屋智由
    単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の熱電界電子トンネリング計測
    日本機械学会2021年度年次大会, 日本機械学会, オンライン, 2021年9月, J223-01
  8. 夏園林, 平井義和, 土屋智由
    a-C:H交互多層膜を被覆したSi微小構造体の引張強度特性
    日本機械学会2021年度年次大会, 日本機械学会, オンライン, 2021年9月, J223-02
  9. 鈴木誠, 薛沛東, 平井義和, 土屋智由
    単結晶シリコンねじり振動子の強度に及ぼす梁加工プロセスの影響評価
    日本機械学会2021年度年次大会, 日本機械学会, オンライン, 2021年9月, J223-06
  10. 岡山修也, 平井義和, Banerjee Amit, 土屋智由
    リング型振動ジャイロスコープにおける静電チューニングのワイングラスモード回転への影響評価
    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, オンライン, 2021年11月, 9A3-SS3-3
  11. 楊建東, 今村聡, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    Gut-Liver on a Chip With Controllable Flow Perfusion via Multilayered Microfluidic Device
    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, オンライン, 2021年11月, 10P2-SS1-2
  12. 竹村拓樹, 平井義和, Banerjee Amit, 土屋智由
    MEMS振動子アレイの動的応答を利用した時系列信号処理
    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, オンライン, 2021年11月, 10P2-SS3-6
  13. 水本昂宏, 平井義和, 土屋智由
    周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザバーコンピューティング
    第13回 集積化MEMSシンポジウム, 応用物理学会, オンライン, 2021年11月, 10A3-AP-5

2020

  1. 宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    有限要素法による経上皮電気抵抗値と測定誤差の電極パターン依存性の解析
    令和2年電気学会全国大会, 電気学会, 東京, 2020年3月, pp.189
  2. 霜降真希, 平井義和, 土屋智由
    単結晶シリコン(111)へき開面ナノギャップ間の熱輸送測定
    第81回応用物理学会秋季学術講演会, 応用物理学会, オンライン, 2020年9月, 8a-Z09-9
  3. 松本有紀子,児玉健太,平井義和,生津資大,土屋智由
    Al/Ni発熱多層膜を用いた真空封止技術におけるMEMS振動子による真空度評価
    日本機械学会2020年度年次大会, 日本機械学会, オンライン, 2019年9月, J22309
  4. 霜降真希, 平井義和, 土屋智由
    静電駆動MEMSデバイスを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップの熱輸送間隔依存性計測
    日本機械学会2020年度年次大会, 日本機械学会, オンライン, 2019年9月, J22316
  5. 文和彦, 霜降真希, 平井義和, 土屋智由
    単結晶シリコンの真空中へき開によるナノギャップ創成とその清浄破断面間の電界電子放出測定
    日本機械学会2020年度年次大会, 日本機械学会, オンライン, 2019年9月, J22317
  6. 吉村光葵, 文和彦, 霜降真希, 平井義和, 土屋智由
    単結晶シリコンのへき開破壊を用いた真空ナノギャップ間の熱電子放出測定用デバイスの作製
    日本機械学会2020年度年次大会, 日本機械学会, オンライン, 2019年9月, J22318
  7. 宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 田畑修, 土屋智由
    電流密度解析を用いた経上皮電気抵抗計測用微小電極アレイの設計
    第30回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2020), エレクトロニクス実装学会, オンライン, 2020年9月, 2B4-3
  8. 宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    経上皮電気抵抗測定の高精度化に向けたOrgans-on-a-Chipの設計法
    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, オンライン, 2020年10月, 27P2-SS1-3
  9. 竹村拓樹, 平井義和, 土屋智由
    Si/COP水蒸気プラズマ接合によるMEMS・マイクロ流路一体化デバイス
    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, オンライン, 2020年10月, 27P3-SSP-10
  10. 張東暁, 平井義和, 亀井謙一郎, 田畑修, 土屋智由
    細胞外電位計測を目的としたパリレン製微小電極アレイのボディ・オン・チップへの集積
    第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, オンライン, 2020年10月, 26P2-MN1-2
    【優秀講演論文表彰・受賞論文】
  11. 亀井謙一郎, 楊建東, 飯田慶, 寺田志穂, 土屋智由, 田畑修, 平井義和
    非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する肝臓-小腸・オン・チップ
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第42回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, オンライン, 2020年10月, 2P20

2019

  1. 宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    経上皮電気抵抗測定マイクロ流体デバイスにおける電極形状の検討
    細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 筑波, 2019年1月, pp.29
  2. 辻勇亮, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    Micro Physiological Systemsへの集積のためのイオン液体型圧力センサ
    細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 筑波, 2019年1月, pp.50
  3. 宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    有限要素解析を用いた経上皮電気抵抗測定マイクロ流体デバイス内電極形状の設計
    平成31年電気学会全国大会, 電気学会, 札幌, 2019年3月, 3-155
  4. 山内一慶, 田渕友樹, 平井義和, 岩本真幸, 土屋智由, 清水啓史, 田畑修
    イオンチャネルの開閉機構観察のための高解像度X線一分子動態計測用溶液チャンバの開発
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第39回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 金沢, 2019年5月, 2P08
  5. 土屋智由, 張文磊, 平井義和, 田畑修
    SCREAMプロセスで作製した単結晶シリコンマイクロミラーの共振振動によるねじり強度試験
    日本実験力学会2019年度年次講演会, 日本実験力学会, 徳島, 2019年9月, A302
  6. 山崎友希, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    並列引張試験デバイスを用いた単結晶シリコン疲労試験の繰り返し周波数の向上
    日本機械学会2019年度年次大会, 日本機械学会, 秋田, 2019年9月, J22309P
  7. 文和彦, 霜降真希, Amit Banerjee, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    SEM中ギャップ間隔制御,電流計測のためのへき開創製ナノギャップデバイス
    日本機械学会2019年度年次大会, 日本機械学会, 秋田, 2019年9月, J22321P
  8. 辻勇亮, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    PDMS製マイクロ流体デバイスへ実装可能な高感度イオン液体型圧力センサ
    第29回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2019), エレクトロニクス実装学会, 吹田, 2019年9月, pp.47-50
  9. 霜降真希, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    単結晶シリコンへき開⾯ナノギャップ間の近接場放射熱伝達の測定
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 応用物理学会, 札幌, 2019年9月, 19p-E214-3
  10. 山内一慶, 田渕友樹, 平井義和, 岩本真幸, 土屋智由, 清水啓史, 田畑修
    シリコン窒化膜を用いたX線一分子動態計測用溶液チャンバの開発
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 応用物理学会, 札幌, 2019年9月, 19p-PB9-11
  11. 木元雄一, 中村克生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    シリコン3次元構造を用いた低温・ウェハレベルのアルカリ金属ガスセル作製法
    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 浜松, 2019年11月, 19pm2-T-3
    【優秀技術論文賞・受賞論文】
  12. 山下直輝, 朴晟洙, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    犠牲DNAオリガミ技術によって形成した金ナノ粒子二量体を用いた表面増強ラマン分光法による分子検出
    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 浜松, 2019年11月, 20pm3-PS3-44
  13. 植田啓太, 萩原健, 平井義和, 近藤純平, 井上正宏, 土屋智由, 亀井謙一郎, 田畑修
    がんの転移におけるせん断応力の役割の解明に向けたマイクロ流体デバイスの開発
    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 浜松, 2019年11月, 19am3-PN3-21
  14. 霜降真希, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    ナノギャップ間熱輸送特性評価のための間隔制御MEMSデバイス
    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 浜松, 2019年11月, 20pm3-PN3-32
  15. Jiandong Yang, Yoshikazu Hirai, Ken-ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    A Microfluidic Gut-Liver on a Chip for Modeling the Non-Alcoholic Fatty Liver Disease
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第40回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 浜松, 2019年11月, 3P10

2018

  1. 辻勇亮, 中野優, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    Body-on-a-Chipへの搭載を目的としたイオン液体型圧力センサ
    細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 筑波, 2018年1月, p.11
  2. 森保彰, 田渕友樹, 平井義和, 清水啓史, 土屋智由, 田畑修
    感光性基板接合材料を用いたX線1分子動態計測用マイクロ流体デバイスの作製
    平成30年電気学会全国大会, 電気学会, 福岡, 2018年3月, 3-139
  3. 山下直輝, 朴晟洙, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    AFMリソグラフィーで作製したナノ領域へのDNAオリガミの特異的固定
    平成30年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 奈良, 2018年7月, BMS-18-035
  4. 宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    経上皮電気抵抗測定に用いる銀/塩化銀平面電極搭載マイクロ流体デバイスの作製
    平成30年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 奈良, 2018年7月, BMS-18-037
  5. 木元雄一, 中村克生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    Si製アルカリ金属生成源を用いた小型原子時計用ガスセルプロセスの開発
    第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2018), エレクトロニクス実装学会, 吹田, 2018年9月, pp.311-314
  6. 山崎友希, 安田莞司, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    せん断型ひずみゲージ集積型試験片を用いた単結晶シリコンの並列引張疲労試験
    日本機械学会2018年度年次大会, 日本機械学会, 吹田, 2018年9月, J2230303
  7. 帯谷和敬, 張文磊, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
    日本機械学会2018年度年次大会, 日本機械学会, 吹田, 2018年9月, J2230304
  8. 霜降真希, 森保彰, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定
    日本機械学会2018年度年次大会, 日本機械学会, 吹田, 2018年9月, J2230306
    【優秀講演論文表彰・受賞論文】
  9. 佐藤勇気, 八巻侑外, 山田崇恭, 泉井一浩, 西脇眞二, 平井義和, 田畑修
    形状制御のためのアクチュエータの電流値と配置の同時最適化
    最適化シンポジウム2018, 日本機械学会, 京都, 2018年10月, 307
  10. 呉家旭, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    心臓鼓動を模倣する流体キャパシタを集積した肝臓オルガノイド作製用マイクロ流体デバイス
    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 札幌, 2018年10月, 30pm2-C-2
  11. 中村友哉, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    シリコンナノワイヤ製ねじれ梁を用いた静電櫛歯駆動MEMSミラーの振動特性
    第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 札幌, 2018年10月, 31am3-PN-119
  12. 辻勇亮, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    3次元リソグラフィを応用したイオン液体型高感度圧力センサの作製と特性評価
    第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 札幌, 2018年10月, 31am3-PN-133

2017

  1. 亀井謙一郎, 平井義和, 加藤義基, 土屋智由, 田畑修
    抗がん剤の副作用を再現する生体外ヒトモデルBody on a Chip
    日本機械学会 第29回バイオエンジニアリング講演会, 日本機械学会, 名古屋, 2017年1月, 1A22
  2. 大牧達矢, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    薬物動態試験おける細胞外電位測定を目的としたPDMS埋め込み型電極アレイ
    細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 東京, 2017年1月, p.39
  3. 大牧達矢, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    心筋細胞外電位測定のためのPDMS埋め込み型電極アレイ
    平成29年電気学会全国大会, 電気学会, 富山, 2017年3月, 3-119
  4. 八巻侑外, 佐藤勇気, 山田崇恭, 泉井一浩, 西脇眞二, 平井義和, 田畑修
    可変形状ミラーデバイスにおけるアクチュエータ配置最適化のためのヒューリスティクスの提案
    2017年度春季大会, 精密工学会, 横浜, 2017年3月, J46
  5. 大牧達矢, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    心筋細胞外電位計測を目指したPDMS埋め込み型電極アレイの作製プロセス
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第35回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 東京, 2017年5月, 1P01
  6. 稲垣達也, 朴晟洙, 山下直輝, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明
    平成29年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(合同研究会), 電気学会, 姫路, 2017年6月, PHS-17-030, CHS-17-021, MSS-17-019, BMS-17-010
  7. 張文磊, 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    プラズマCVDによりDLCを全面被膜した単結晶シリコンマイクロ構造体の引張特性に及ぼす成膜バイアスの影響
    日本機械学会2017年度年次大会, 日本機械学会, 埼玉, 2017年9月, J2210103
  8. 土屋智由, Banerjee Amit, 平井義和, 田畑修
    単結晶シリコンのへき開で創成したナノギャップの電子放出測定
    日本実験力学会2017年度年次講演会, 日本実験力学会, 岡山, 2017年8月, A108
  9. 安田莞司, 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    単結晶シリコン並列引張試験における集積化せん断型ひずみゲージによる荷重検出
    日本機械学会2017年度年次大会, 日本機械学会, 埼玉, 2017年9月, J2210105
  10. 土屋智由, Banerjee Amit, 平井義和, 田畑修
    熱駆動SOI-MEMSを用いたへき開破壊によるナノギャップ創製
    日本機械学会2017年度年次大会, 日本機械学会, 埼玉, 2017年9月, J2210205
  11. 辻勇亮, 中野優, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    微小圧力計測を目的としたPDMS製イオン液体型圧力センサ
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第36回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 群馬, 2017年10月, 1P31
  12. 江間稔起, 宇野亜季子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの変位特性
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 広島, 2017年10月, 31pm3-PS-26
  13. 朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    Rapid Molecular Sensing Based on On-Chip Size-Separation Process of DNA Origami
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 広島, 2017年10月, 01am2-PS-127
  14. 山下直輝, 朴晟洙, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    犠牲DNAオリガミ技術とナノギャップを有する金ナノ粒子二量体作製への応用
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 広島, 2017年10月, 02pm1-PS-202
  15. 馬志鵬, 山下直輝, 朴晟洙, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    Structural Robustness of Different Crossover/Nick Designs of 2D DNA Origami
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 広島, 2017年10月, 02pm1-PS-203
  16. 清水啓史, 田渕友樹, 田原樹生, 岩本真幸, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    低X線散乱ノイズ観測チャンバー開発による蛋白質1分子構造変化計測
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 広島, 2017年10月, 02pm1-PS-245.
  17. 辻勇亮, 中野優, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    有限要素解析を用いたイオン液体型圧力センサの感度特性評価
    第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 広島, 2017年10月, 01pm4-PN-98
  18. 張文磊, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    プラズマCVDによりDLC全面成膜したシリコン薄膜の引張強度とばらつきの解析
    第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 広島, 2017年10月, 02pm1-PN-129
  19. 中村友哉, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    シリコンナノワイヤ製ねじれ梁を用いた静電櫛歯駆動MEMSミラーの作製
    第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 広島, 2017年10月, 02pm1-PN-133

2016

  1. 亀井謙一郎, 平井義和, 加藤義基, 土屋智由, 田畑修
    抗がん剤副作用を再現する生体モデルBody on a Chipの開発
    細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 東京, 2016年1月, p.53
  2. Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Fred van Keulen, Osamu Tabata
    Multi-Patterning with Numerical Optimization for DMD-Based Three-Dimensional Lithography
    平成28年電気学会全国大会, 電気学会, 仙台, 2016年3月, 3-146
  3. 亀井謙一郎, 平井義和, 加藤義基, 土屋智由, 田畑修
    抗がん剤副作用を再現する生体外モデルBody on a Chipの開発
    日本組織培養学会第89回大会, 日本組織培養学会, 大阪, 2016年5月, p.65
  4. Ma Zhipeng, Huang Yunfei, Park Seongsu, Yamashita Naoki, Yoshikazu Hirai, Tsuchiya Toshiyuki, Yamada Hirofumi, Tabata Osamu, Kawai Kentaro, Kim Do-Nyun
    Structural Characterization of DNA Origami with Different Crossover Arrangement
    平成28年度電気学会総合研究会(APCOT 2016 Joint Session), 電気学会, 金沢, 2016年7月, PHS-16-020, CHS-16-003, MSS-16-003, BMS-16-023
  5. 土屋智由, 松井祐樹,平井義和, 田畑修
    サブミクロンギャップ静電容量型MEMS加速度センサアレイの熱機械ノイズ評価
    Dynamics and Design Conference 2015(D&D2015), 日本機械学会, 宇部, 2016年8月, 講演番号520
  6. 土屋智由, 邊見哲也, 平井義和, 田畑修
    シリコンナノワイヤを一括作製した静電容量型MEMS引張試験デバイス
    日本実験力学会2016年度年次講演会, 日本実験力学会, 大阪, 2016年9月, pp.163-164
  7. 安田莞司, 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
    日本機械学会2016年度年次大会, 日本機械学会, 福岡, 2016年9月, J2210105
  8. 土屋智由, 松井祐樹,平井義和, 田畑修
    サブミクロンギャップを有する静電容量型センサにおけるプルイン防止設計
    日本機械学会2016年度年次大会, 日本機械学会, 福岡, 2016年9月, J2210106
  9. 張文磊,上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    サブミクロン厚のプラズマCVD-DLC薄膜で全面被覆されたシリコンマイクロ構造の引張試験
    日本機械学会2016年度年次大会, 日本機械学会, 福岡, 2016年9月, J2210305
  10. 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    (110)シリコンの高温下のすべりと破壊に及ぼす引張軸方位の影響
    日本機械学会2016年度年次大会, 日本機械学会, 福岡, 2016年9月, J2210306
  11. 中村克生, Florian Larramendy, 平井義和, 土屋智由, Oliver Paul, 田畑修
    厚膜ネガレジスト用三次元リソグラフィシミュレータの開発
    日本機械学会2016年度年次大会, 日本機械学会, 福岡, 2016年9月, G2200103
  12. 寺島健太, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    多孔質アルミナ製Cs生成源を使ったCSAC用MEMS型ガスセルの開発
    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 平戸, 2016年10月, 24pm2-B-5
    【最優秀技術論文賞・受賞論文】

2015

  1. 加藤義基, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    灌流システムを搭載した副作用検査デバイス ~ヒトES/iPS由来のBody on a chipを目指して~
    細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 東京, 2015年1月, p.12
  2. 土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章
    MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測
    第62回応用物理学会春季学術講演会, 応用物理学会, 平塚, 2015年3月, 12p-D15-4
  3. 森裕都, 馬志鵬, 朴晟洙, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成
    平成27年電気学会全国大会, 電気学会, 東京, 2015年3月, 3-095
  4. 田原樹生, 平井義和, 清水啓史, 土屋智由, 田畑修
    3次元微細加工技術を応用したX線1分子動態計測用低ノイズマイクロチャンバの開発
    平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 福岡, 2015年7月, BMS-15-36
  5. 馬志鵬, 朴晟洙, 山下直輝, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    Determining the Annealing Factors for the Self-Assembly of DNA Origami and its Polymerization
    平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(合同研究会), 電気学会, 福岡, 2015年7月, PHS-15-24, CHS-15-37, MSS-15-9, BMS-15-30
  6. 朴晟洙, 馬志鵬, 山下直輝, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    Browinian Dynamics Simulation for Electrophorectic Migration of DNA Nanostructures in a Aanochannel
    平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(合同研究会), 電気学会, 福岡, 2015年7月, PHS-15-25, CHS-15-38, MSS-15-10, BMS-15-31
  7. 宇野亜季子, Vijay Kumar Singh, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラーの数理解析モデルの構築
    平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 福岡, 2015年7月, MSS-15-24
  8. 土屋智由, 中野篤,平井義和, 田畑修, 梅田章
    1軸加振器を用いたMEMS3 軸加速度センサの感度マトリックス測定
    Dynamics and Design Conference 2015 (D&D2015), 日本機械学会, 弘前, 2015年8月, 731
  9. 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    ひずみゲージ集積型単結晶シリコンマイクロ構造の並列引張疲労試験
    日本機械学会2015年度年次大会, 日本機械学会, 札幌, 2015年9月, J2210404
  10. 土屋智由, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修
    静電駆動MEMS 光チョッパを用いた時間分解顕微ラマン応力測定
    日本機械学会2015年度年次大会, 日本機械学会, 札幌, 2015年9月, J2210406
  11. 松井祐樹, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    サブミクロンギャップを有するSOI静電容量型加速度センサアレイ
    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 新潟, 2015年10月, 29pm3-PS-059
  12. 藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 寺尾亮, 水谷夏彦, 小林哲生, 田畑修
    原子磁気センサのセル作製のためのアルカリ金属ソースタブレット
    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 新潟, 2015年10月, 30am2-PS-078
  13. 加藤義基, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修
    3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発
    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 新潟, 2015年10月, 30pm1-A-2
    【五十嵐賞・受賞論文】
  14. 邊見哲也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    熱酸化により直径制御した架橋構造シリコンナノワイヤのSOI-MEMS集積化
    第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 新潟, 2015年10月, 29pm1-F-2
  15. 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    (110)単結晶シリコンマイクロ構造の高温引張破壊特性
    第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 新潟, 2015年10月, 29pm3-PN-049
  16. 土屋智由, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修
    顕微ラマン分光による単結晶シリコンマイクロ構造の動的応力測定
    日本機械学会M&M2015材料力学カンファレンス, 日本機械学会, 横浜, 2015年11月, OS1418-467
  17. 亀井謙一郎, 平井義和, 加藤義基, 土屋智由, 田畑修
    抗がん剤副作用を生体外で再現するBody on a Chipの開発
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第32回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 北九州, 2015年11月, 2P31

2014

  1. 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修
    蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診
    第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 山形, 2014年3月, p.84
  2. 平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修
    5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム
    平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 東京, 2014年6月, pp.85-90
  3. 土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky
    エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上
    日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス, 日本機械学会, 福島, 2014年7月, OS1513
  4. 土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修
    3軸加速度センサの並列校正手法の検討
    Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 東京, 2014年8月, 528
  5. 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験
    日本実験力学会2014年度年次講演会, 日本実験力学会, 姫路, 2014年8月, B205
  6. 土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修
    多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験
    日本機械学会2014年度年次大会, 日本機械学会, 東京, 2014年9月, J2240106
  7. 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ
    日本機械学会2014年度年次大会, 日本機械学会, 東京, 2014年9月, J2240206
  8. 上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験
    日本機械学会2014年度年次大会, 日本機械学会, 東京, 2014年9月, J2240303
  9. 平井義和, 田畑修, 清水啓史
    X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバの開発
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第30回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会,札幌, 2014年10月, 2P22
  10. Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System
    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 松江, 2014年10月, 20pm3-PS023
  11. 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移
    第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 松江, 2014年10月, 20pm3-PM005
  12. 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性
    第6回「集積化MEMSシンポジウム」, 応用物理学会, 松江, 2014年10月, 20pm1-C1
  13. Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    Revealing the Radial Elastic Modulus of Multi-Layered DNA Origami by AFM Nanoindentation
    第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会, 他関連34学協会, 京都, 2014年10月, 722

2013

  1. 北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製
    平成25年電気学会全国大会, 電気学会, 名古屋, 2013年3月, pp.191-192(第3分冊)
  2. 加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ
    平成25年電気学会全国大会, 電気学会, 名古屋, 2013年3月, pp.193-194(第3分冊)
  3. 谷山彰, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, 土屋智由
    時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性
    日本実験力学会, 2013年度年次講演会, 由利本荘, 2013年8月, pp.129-131
  4. 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価
    Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 福岡, 2013年8月, 549
  5. 上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性
    日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 岡山, 2013年9月, J211013
  6. 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工
    日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 岡山, 2013年9月, J211017
  7. 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル
    日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 岡山, 2013年9月, J211024
  8. 藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 水谷夏彦, 田畑修
    微細構造体を用いたアルカリ金属の生成反応
    化学工学会第45回秋季大会, 化学工学会, 岡山, 2013年9月, T114
  9. 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 藩和宏, 水谷夏彦, 田畑修
    Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法
    2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, 福岡, 2013年9月, pp.S28-S29(基礎・境界ソサイエティ)
  10. 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由
    時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ
    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 仙台, 2013年11月, 5PM3-PSS-013
  11. 成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析
    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 仙台, 2013年11月, 5PM3-PSS-117
  12. 辻本和也, 藩和宏, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 水谷夏彦, 田畑修
    原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価
    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 仙台, 2013年11月, 6AM2-A-4
  13. 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    静電容量型SOI3軸加速度センサの角速度横感度
    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 仙台, 2013年11月, 6PM3-PSS-058
  14. 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修
    蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 姫路, 2013年12月, 3P01

2012

  1. 徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析
    第59回応用物理学関係連合講演会, 応用物理学会, 東京, 2012年3月, 16p-E3-9
  2. 西野聡, 菅野公二, 武中能子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製
    平成24年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会),電気学会, 京都, 2012年7月, pp.29-32
  3. 片山拓, 菅野公二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析
    平成24年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会),電気学会, 京都, 2012年7月, pp.33-38
  4. 上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    加工条件の異なる(110)単結晶シリコン薄膜の引張試験
    日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス, 日本機械学会, 愛媛, 2012年9月, OS1909
  5. 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価
    Dynamics and Design Conference 2012(D&D2012), 日本機械学会, 横浜, 2012年9月, 702
  6. 平井義和, 柳生裕聖, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 北九州, 2012年10月, pp.371-374
  7. 鈴木淳也, 片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    単層カーボンナノチューブのMEMS引張試験機における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定
    第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 北九州, 2012年10月, OS7-3-5

2011

  1. 吉宗秀晃, 中田哲博, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成
    平成23年電気学会全国大会, 電気学会, 大阪, 2011年3月, pp.186-187
  2. 北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析
    平成23年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京, 2011年7月, pp.31-36
  3. 菅野公二, 吉宗秀晃, 中田哲博, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いたナノ粒子の合成
    平成23年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京, 2011年7月, pp.73-78
  4. 菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル
    平成23年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京, 2011年7月, pp.83-86
  5. 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用
    関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会, 京都, 2011年7月
  6. 西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和
    ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長
    第63回コロイドおよび界面化学討論会, 日本化学会, 京都, 2011年11月
  7. 上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性
    日本機械学会2011年度年次大会, 日本機械学会, 東京, 2011年9月, J161021
  8. 亀井謙一郎, 平井義和, 牧野圭秀, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, 田畑修
    フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価
    第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京, 2011年9月, pp.89-92
  9. 片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング
    第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京, 2011年9月, pp.107-110
  10. 平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル
    第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京, 2011年9月, pp.334-339
  11. 平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
    電子回路研究会(圧電デバイス・材料), 電気学会, 京都, 2011年11月, pp.7-11

2010

  1. 菅野公二, 中田哲博, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    3方向からの交互脈動送液による高速2液混合
    平成22年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京, 2010年6月, pp.139-144
  2. 脇田拓, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 土屋智由, 池原毅
    (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価
    日本機械学会2010年度年次大会, 日本機械学会, 名古屋, 2010年9月, pp.243-244(講演論文集 Vol.8)
  3. 谷山彰, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 池原毅, 土屋智由
    顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析
    日本機械学会2010年度年次大会, 日本機械学会, 名古屋, 2010年9月, pp.255-256(講演論文集 Vol.8)
  4. 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
    第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 松江, 2010年10月, pp.656-661
  5. 徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析
    第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 松江, 2010年10月, pp.141-142
  6. 脇田拓, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 土屋智由, 池原毅
    (110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析
    第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 松江, 2010年10月, pp.149-150

2009

  1. 菅野公二, 内田雄喜, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
    平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京, 2009年6月, pp.7-12
  2. 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法
    第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京, 2009年10月, pp.533-538

2008

  1. 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術
    平成20年電気学会全国大会, 電気学会, 福岡, 2008年3月, pp.138-139(第3分冊)
  2. 柏井茂達, 田上周路, 市原直, 石川潔, 杉岡秀行, 水谷夏彦, 平井義和, 田畑修, 小林哲生
    光ポンピング原子磁気センサによる微小磁気計測Ⅰ-磁気光学回転角の基礎的検討-
    第55回応用物理学関係連合講演会, 応用物理学会, 船橋, 2008年3月, 30a-ZV-1
  3. 田上周路, 市原直, 柏井茂達, 石川潔, 杉岡秀行, 水谷夏彦, 平井義和, 田畑修, 小林哲生
    光ポンピング原子磁気センサによる微小磁気計測Ⅱ-マグネトメータ型での計測-
    第55回応用物理学関係連合講演会, 応用物理学会, 船橋, 2008年3月, 30a-ZV-2
  4. 市原直, 田上周路, 柏井茂達, 石川潔, 杉岡秀行, 水谷夏彦, 平井義和, 田畑修, 小林哲生
    光ポンピング原子磁気センサによる微小磁気計測Ⅲ-グラディオメータ型での計測-
    第55回応用物理学関係連合講演会, 応用物理学会, 船橋, 2008年3月, 30a-ZV-3
  5. 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用
    平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 仙台, 2008年6月, pp.1-6
  6. 杉原靖幸, 田上周路, 市原直,石川潔, 杉岡秀行, 水谷夏彦, 平井義和, 田畑修, 小林哲生
    生体ファントムを用いた光ポンピング原子磁気センサによる微小磁場分布計測
    生体医工学シンポジウム2008(BMES2008), 日本生体医工学会, 豊中, 2008年9月, 2-08-04
  7. 平井義和, 稲本好輝, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    厚膜ネガレジスト特性を応用した移動マスクUV露光による三次元加工
    第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 沖縄, 2008年10月, pp.15-20

2007

  1. 稲本好輝,平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製
    平成19年電気学会全国大会, 電気学会, 富山, 2007年3月, pp.181-182(第3分冊)
  2. 平井義和, 稲本好輝, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術
    平成19年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 筑波, 2007年7月, pp.19-24
  3. 平井義和, 稲本好輝, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    移動マスクUV露光法によるポジ型厚膜レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術
    日本機械学会2007年度年次大会, 日本機械学会, 吹田, 2007年9月, pp.303-304(講演論文集 Vol.7)
  4. 柏井茂達, 田上周路, 石川潔, 市原直, 杉岡秀行, 平井義和, 田畑修, 小林哲生
    光ポンピング磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討
    平成19年度電気学会マグネティックス部門研究会, 電気学会, 函館, 2007年10月, MAG-07-105, pp.19-24

2006

  1. 平井義和, 稲本好輝, 松井利一, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
    移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術
    第23回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 高松, 2006年10月, LN-01

2005〜2002

  1. 平井義和, 松塚直樹, 田畑修
    X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証
    IIP2005情報・知能・精密機器部門, 日本機械学会, 東京, 2005年3月, pp.207-210
  2. 松塚直樹, 平井義和, 田畑修
    X線二重露光法による3次元微細加工技術の研究
    第22回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京, 2005年10月, pp.297-302
  3. 井戸田芳典, 大久保陽一郎, 河村清美,田畑修, 平井義和
    微細噴孔ノズルの微粒化過程の解明-移動X線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察-
    第14回微粒化シンポジウム, 日本液体微粒化学会, 八戸, 2005年11月, pp.211-216
  4. 松塚直樹, 平井義和, 田畑修
    二重露光X線リソグラフィによる三次元微細加工技術
    第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 京都, 2004年10月, pp.191-194
  5. 平井義和, 松塚直樹, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink, 田畑修
    移動マスクX線リソグラフィーにおけるX3Dの有用性
    第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京, 2003年7月, pp.391-396
  6. 平井義和, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink, 田畑修
    X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発
    平成14年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京, 2002年11月, pp.65-70