令和7年電気学会全国大会が3月18日〜20日まで、明治大学で開催されました。平井研究室からはE部門が企画した「時空間同期技術：通信とマイクロデバイスの連携」のシンポジウムで、清瀬君が小型現時計への搭載を目的としたMEMSガスセルのウェハレベル製造技術の研究成果を発表しました。なお、本シンポジウムは、総務省「周波数資源の有効活用に向けた高精度時刻同期基盤の研究開発」の支援による成果発表で構成されています。
- 全国大会HP：https://www.iee.jp/blog/taikai2025/
- 発表概要
著者：◎清瀬俊, 島田弥力, 堀靖志, 小田切雄介, 波多野智, 矢野雄一郎, 五箇繁善, 平井義和, 原基揚
タイトル：RbN3パターニング基板を用いたMEMSガスセルのウェハレベル製造技術